是科创极。
华卓料科主要产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘和隔振器等超精密测控设备部件以及晶圆级键合设备、激光退火设备等超精密测控设备整机，以及上述部分主要产品的技术开发服务。
1、刻蚀机：北方华创、中微公司；
2、光刻机：上微集团、华卓精科；
3、PVD：北方华创；
4、CVD：北方华创、中微公司、拓荆科技；
5、离子注入：中科信、万业企业；
6、炉管设备：北方华创、晶盛机电；
7、检测设备：精测电子、华峰测控、长川科技；
8、清洗机：北方华创、至纯科技、盛美半导体；
9、其他设备：芯源微、大族激光、锐科激光。
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