不是光刻机生产厂家。
是蚀刻机。
中微半导体设备（上海）有限公司于2004年5月31日在浦东新区市场监管局登记成立。法定代表人尹志尧（GERALDZHEYAOYIN），公司经营范围包括研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备等。
2021年5月8日消息，中微公司成功研制出3nm蚀刻机，且完成了原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估，并已进入量产阶段。
尹志尧不是江西人，是北京人。1968年毕业于中国科学技术大学化学物理系。1980年，前往加利福尼亚大学洛杉矶分校留学，并获得物理化学博士学位。中微半导体设备（上海）有限公司创始人、董事长、总经理。
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